???????? ???????? ? ??????????? ??????? M2EMS, ????? ???????? ???? ?????????? ????? ????????, ? ??????? ???????????? ????????? ?????????? ???????. ??? ?????????, ??? ??????? ????? ????????? ??? ?????? ?????????? ???????????????????????? ?????? (MEMS). ?? ?????? ???????????? ???????, ????? ??????? (Claude Fermon), «??????????, ????????? ? ???? ???????, ??????? ??????????? ????????? ??????, ??? ? ????????? ???? ????????? [MEMS]».
??????? ???????? ?????????? MEMS, ??????? ????? ? ????????? ????, ??????? ????????? ???????? ? ????? ?????? ????????, ??????? ?????????????????? ? ????????, ???????????? ? ??????? ???????, ???????????? ? ???????????? ???????. ???????????? MEMS – ?????????????, ??????? ??????????????, ???????? ? ?????????? ???????? ? ??????????? ????????????.
?????? ?? ???? ????????? ???????? ????? ?????????? ???? ?????? ???????????. ???? ?? ??? ??????? ? ???, ??? ? ??????????? ???????? ???????? ?? ???????? ??? ??????????? ?????????? ????. ?????? ??? ??????????? ????????? ????? ?????????? ??????????? ????????? ??????? ???? ??? ??????????.
????????? ??????, ????????? ?? ??????? ?????????? ????????, ????? ???? ???????????? ? ?????????????, ??????????? ??????? ???????????, ??????????, ???????? ? ???????? ? ????????? ??????.
????? ???????????? ? ?????? ??????? M2EMS ?????????? ?? ?????????? ????????? ?????????? «??????????», ??????? ???? ?? ?????????? ? ?????????? ???????????? MEMS ? ????????????? ????????????, ? ?????????, ?????????????????? ???????????????? ?????????.
????????? ??????? ?????? ??????? ?????? ? ?????????? ????????? ?????, ??????? ??????? ?? ????????? 10 ???. ????? ????, ??????????? ????? ??????? ?????? (?? 1 ??) ? ??????? ?????????? ?????? ? ????????? ????????????. ? ?????????, ??? ????????????????? ?????? MEMS-???????? ??? ????????????? ??????????, ?????????? ? ??????????????, ? ??????? ?????????????? ????????? ??????.
? ????????? ????? ???? ?????????? ? ???????????????? ??????????.
????????: